真空腔室L400×W440×H450mm,采用SUS304優(yōu)質(zhì)不銹鋼
觀察窗Φ100mm,含磁力擋板
屏蔽板不銹鋼,便于拆卸清潔、更換
水冷蒸發(fā)電極8根組成4組
金屬蒸發(fā)電源功率3kW
復(fù)合分子泵JTFB-650Z脂潤滑分子泵,抽速650L/s
直聯(lián)高速旋片式真空泵TRP-36,抽速9L/s
氣動(dòng)高真空插板閥DN150
前級(jí)閥/旁路閥DN40
放氣閥φ10 電磁充氣閥
數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)兩低一高,含規(guī)管
波紋管、真空管道材質(zhì)SUS304不銹鋼
電阻蒸鍍機(jī)是一種用于薄膜沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、 optics 等領(lǐng)域。它的基本工作原理是通過電阻加熱將材料(通常是金屬或合金)加熱到蒸發(fā)溫度,使其從固態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài),然后冷卻后在基材上形成薄膜。
以下是電阻蒸鍍機(jī)的一些關(guān)鍵組成部分和特點(diǎn):
1. **電阻加熱源**:通過電阻絲或鎢絲加熱蒸發(fā)源,相關(guān)溫度能夠控制材料的蒸發(fā)速率。
2. **真空室**:在真空環(huán)境下進(jìn)行蒸鍍可以減少氣體分子的干擾,從而提高薄膜的質(zhì)量和純度。
3. **蒸發(fā)源**:放置待蒸發(fā)材料的地方,常用的材料有鋁、金、銀等。
4. **基材夾持系統(tǒng)**:用于固定待涂覆的物體,確保薄膜均勻性。
5. **厚度監(jiān)測(cè)器**:通常使用晶體監(jiān)測(cè)器(如QCM)來實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度,確保達(dá)到預(yù)定的沉積量。
6. **冷卻系統(tǒng)**:在蒸鍍過程中,冷卻系統(tǒng)可以防止設(shè)備過熱,保證設(shè)備和材料的穩(wěn)定性。
電阻蒸鍍機(jī)具有操作簡便、控制準(zhǔn)確和沉積均勻等優(yōu)點(diǎn),適合大面積和高均勻性薄膜的制備。由于其熱沉積的特性,相比其他蒸鍍方式(例如電子束蒸鍍),更適合處理低熔屬和合金。
熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是一種用于薄膜沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、光電器件制造、表面改性等領(lǐng)域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:通過熱蒸發(fā)過程將材料(如金屬、半導(dǎo)體或絕緣體)加熱溫,使其蒸發(fā)并在基材表面沉積形成薄膜。
2. **膜層控制**:可控制沉積速率和膜層厚度,以滿足不同應(yīng)用的要求。
3. **真空環(huán)境**:在高真空條件下操作,減少氣體分子對(duì)蒸發(fā)材料的干擾,從而提高膜層質(zhì)量。
4. **材料多樣性**:能夠使用多種不同的蒸發(fā)材料,滿足不同材料系統(tǒng)的需求。
5. **均勻性**:能夠?qū)崿F(xiàn)均勻的膜層沉積,適用于大面積基材的鍍膜。
6. **兼容性**:可以與其他鍍膜技術(shù)(如濺射、化學(xué)氣相沉積等)結(jié)合使用,以實(shí)現(xiàn)更復(fù)雜的薄膜結(jié)構(gòu)。
7. **自動(dòng)化與監(jiān)控**:許多現(xiàn)代熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)配備了自動(dòng)化控制系統(tǒng)和監(jiān)測(cè)儀器,方便實(shí)時(shí)監(jiān)控沉積過程。
通過這些功能,熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)在電子器件、光學(xué)元件、傳感器等領(lǐng)域中扮演著重要角色。

熱蒸發(fā)手套箱一體機(jī)是一種用于材料制備和表面處理的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體、光電器件等領(lǐng)域。其特點(diǎn)包括:
1. **一體化設(shè)計(jì)**:將熱蒸發(fā)設(shè)備與手套箱結(jié)合為一體,有效減少了樣品在轉(zhuǎn)移過程中的污染風(fēng)險(xiǎn)。
2. **高純度環(huán)境**:手套箱內(nèi)部通常可維持在低濕度和惰性氣體氛圍(如氮?dú)饣驓鍤猓?,有助于防止樣品氧化和水分侵入?br/>3. **控制**:設(shè)備通常配備溫度、壓力和蒸發(fā)速率等多種參數(shù)的實(shí)時(shí)監(jiān)控和調(diào)節(jié)功能,以確保材料沉積的性。
4. **易于操作**:手套箱設(shè)計(jì)便于操作人員進(jìn)行樣品的準(zhǔn)備、放置和觀察,操作方便且安全。
5. **多功能性**:除了熱蒸發(fā)功能,部分設(shè)備還具備其他處理功能,如光刻、刻蝕等,提升了實(shí)驗(yàn)的靈活性。
6. **樣品多樣性**:能夠支持多種材料的蒸發(fā)沉積,包括金屬、氧化物、聚合物等,適用范圍廣。
7. **提高實(shí)驗(yàn)效率**:集成化設(shè)計(jì)減少了樣品處理時(shí)間,提高了實(shí)驗(yàn)的整體效率。
8. **低污染風(fēng)險(xiǎn)**:由于手套的封閉性,有效避免了外部污染源對(duì)樣品的影響,保證實(shí)驗(yàn)結(jié)果的可靠性。
這些特點(diǎn)使得熱蒸發(fā)手套箱一體機(jī)在高精度材料研究和開發(fā)中成為一個(gè)重要的工具。

熱蒸鍍是一種用于表面處理的技術(shù),主要用于金屬表面的鍍層工藝,其功能和應(yīng)用包括:
1. **防腐蝕**:熱蒸鍍能在金屬表面形成一層致密的保護(hù)膜,從而提高金屬的耐腐蝕性能,延長使用壽命。
2. **改善表面性能**:通過熱蒸鍍,可以改善金屬表面的硬度、耐磨性、光滑度等性能。
3. **提升美觀**:熱蒸鍍可以使產(chǎn)品表面光亮美觀,提高產(chǎn)品的外觀質(zhì)量,增強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭力。
4. **電導(dǎo)性能**:在一些電子設(shè)備中,熱蒸鍍可以增強(qiáng)金屬的導(dǎo)電性能,改善電氣連接。
5. **降低摩擦**:鍍層能減少部件之間的摩擦,降低機(jī)械磨損,提升設(shè)備的效率和使用壽命。
6. **隔熱與絕緣**:某些熱蒸鍍膜具有良好的隔熱或電絕緣性能,可以應(yīng)用于高溫或高壓環(huán)境中。
7. **熱交換性能**:在熱交換器等領(lǐng)域,熱蒸鍍可以提高熱傳導(dǎo)效率。
綜上所述,熱蒸鍍是一種重要的表面處理技術(shù),在工業(yè)和日常生活中有著廣泛的應(yīng)用。

蒸發(fā)舟是一種用于薄膜沉積和蒸發(fā)材料的裝置,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造以及光學(xué)薄膜的生產(chǎn)中。它的主要功能和特點(diǎn)包括:
1. **材料蒸發(fā)**:蒸發(fā)舟通過加熱將固體材料加熱到其熔點(diǎn)或蒸發(fā)點(diǎn),使其轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài),隨后沉積到基材上形成薄膜。
2. **薄膜均勻性**:蒸發(fā)舟可以控制蒸發(fā)速率和溫度,從而在基材上形成均勻厚度的薄膜,這對(duì)于光學(xué)性能和電學(xué)性能至關(guān)重要。
3. **控制**:通過調(diào)整蒸發(fā)舟的加熱方式(如電阻加熱、激光加熱等),可以實(shí)現(xiàn)對(duì)蒸發(fā)速率和沉積材料的控制。
4. **多種材料**:可以使用材料,如金屬、氧化物和聚合物,進(jìn)行蒸發(fā)沉積,以滿足不同應(yīng)用的需求。
5. **真空環(huán)境**:通常在真空環(huán)境中進(jìn)行操作,以減少氧化和污染,提高薄膜的質(zhì)量和性能。
6. **應(yīng)用廣泛**:用于光電器件、太陽能電池、傳感器等多個(gè)領(lǐng)域,通過制備高性能薄膜來提升器件性能。
蒸發(fā)舟在薄膜技術(shù)中的重要性使其成為現(xiàn)代材料科學(xué)和工程中的一種關(guān)鍵工具。
蒸發(fā)舟是一種常用于實(shí)驗(yàn)室或工業(yè)中蒸發(fā)液體的設(shè)備,主要用于蒸發(fā)顆粒的過程中。其適用范圍包括但不限于以下幾個(gè)方面:
1. **化工行業(yè)**:用于濃縮化學(xué)溶液、分離有機(jī)溶劑和提取活性成分。
2. **制藥行業(yè)**:在藥物研發(fā)和生產(chǎn)過程中,蒸發(fā)舟可以用于濃縮藥液和提取有效成分。
3. **食品行業(yè)**:用于濃縮果汁或其他液體食品,去除水分以提高產(chǎn)品的風(fēng)味和保質(zhì)期。
4. **環(huán)境保護(hù)**:在污水處理過程中,蒸發(fā)舟可以幫助去除水中的污染物。
5. **材料科學(xué)**:用于制備薄膜材料或其他需要控制成分濃度的材料。
6. **實(shí)驗(yàn)室研究**:在化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)中,用于蒸發(fā)和濃縮樣品。
總的來說,蒸發(fā)舟適用于需要對(duì)液體進(jìn)行蒸發(fā)以實(shí)現(xiàn)分離、濃縮或提取的場(chǎng)合。不同的行業(yè)和應(yīng)用可能對(duì)蒸發(fā)舟有不同的具體要求。
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